| FA_O碱性清洗液对GLSI多层Cu布线粗糙度的优化 |
| 邓海文;檀柏梅;张燕;顾张冰; |
| 关键词：CMP后清洗;FA/O碱性清洗液;FA/OⅡ型螯合剂;O-20活性剂;粗糙度;非 |
| 主要内容：采用自主研发的FA/O碱性清洗液对多层Cu布线表面粗糙度进行优化。通过改变清洗液中螯合剂与活性剂的体积分数,做单因素实验,得到最佳配比。利用原子力显微镜观察布线片表面清洗前后粗糙度的变化,电化学测试仪测试各种清洗液对晶圆表面的腐蚀情况。通过 |
| 《电子元件与材料》 2015,34(10):91-94 |
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