| MEMS陀螺驱动数字闭环ASIC设计 |
| 任臣;杨亮;杨拥军; |
| 关键词：MEMS陀螺;专用集成电路(ASIC);驱动数字闭环;电容/电压转换;ΣΔ调制 |
| 主要内容：针对MEMS陀螺,基于四阶机电结合ΣΔ调制器技术设计了一款驱动数字闭环电路。其中电容/电压转换电路(C/V转换电路)采用了开关电容电路。为了降低C/V转换电路的噪声,采用了相关双采样(CDS)技术和斩波开关技术。仿真结果表明,采用这两项技术 |
| 《半导体技术》 2015,40(08):566-569+584 |
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