| QFN器件框架基岛面的分层研究 |
| 阳芳芳;李文石;胡立栋; |
| 关键词：QFN;框架基岛;分层;弹性模量;蚀刻面积;粗糙度 |
| 主要内容：针对QFN器件框架基岛面的分层问题,从设计角度选择15组试验设计样本,通过超声C-scan层扫和T-scan透扫,还有SEM电镜综合成像分析,发现有效改善甚至完全消除局域分层的关键技术分别是:1)使用弹性模量大的焊接材料,2)减小框架半蚀刻 |
| 《中国集成电路》 2015,24(07):64-70 |
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