| SPC研究及其在芯片制造工艺中的应用 |
| 张鹏远;孔明;赵子健; |
| 关键词：统计过程控制;控制图;均值极差图 |
| 主要内容：统计过程控制(SPC)技术是集生产技术与科学管理于一体的现代工艺质量管理技术。在企业生产过程中,SPC是生产过程控制的有效手段和工具。SPC作为一种过程控制方法,运用数理统计概率论的原理,应用统计方法对过程中的各个阶段进行监控,可及时发现生 |
| 《微处理机》 2015,36(01):22-24 |
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