| 氨水、双氧水转国产化应用 |
| 马慧红;吴晓鸫;顾爱军; |
| 关键词：纯度;金属离子;栅氧质量;良率 |
| 主要内容：化学试剂是微电子制造工艺中清洗工艺的重要材料。由于微电子制造对化学试剂的各项要求极高,在该制造业发展初期,国内中高端生产线以进口化学试剂为主。随着国内原材料厂商工艺能力的提高,各种国产化学试剂正逐步取代进口试剂。由于微电子制造对质量的要求, |
| 《电子与封装》 2015,15(04):46-48 |
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