| 版图邻近效应的高精度标准单元波动检测电路 |
| 胡心仪;林殷茵; |
| 关键词：工艺波动;版图邻近效应(LPE);标准单元;阈值电压;压控环形振荡器(VCO) |
| 主要内容：随着集成电路的发展,工艺尺寸进一步微缩,工艺波动导致的器件波动对电路性能以及可靠性的影响越来越严重。版图邻近效应就是先进工艺下影响工艺波动的重要因素。为了应对先进工艺下版图邻近效应(LPE)的影响,代工厂需要确立器件波动最小且最优标准单元版 |
| 《半导体技术》 2015,40(10):754-758 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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