| 半导体设备微环境控制方法和前景 |
| 毕昕;沈锦华; |
| 关键词：半导体设备;微环境控制;空气洁净度;温度控制;气浮平台 |
| 主要内容：超大规模、超高集成度集成电路制造过程中环境因素至关重要,特别是随着特征尺寸的不断减小,环境指标越来越苛刻。分析了半导体设备内部微环境控制在产品性能以及生产成本等方面的重要性,介绍了目前我国自主研发的精密半导体设备微环境控制的方法。从微环境定 |
| 《机电一体化》 2015,21(05):11-15+31 |
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