| 薄膜互连线形状参数对电迁移的影响 |
| 黄飞;丁善婷;李婳婧; |
| 关键词：薄膜互连线;加速寿命试验;电迁移 |
| 主要内容：为了探究Au互连线的形状参数对互连线寿命的影响,在环境温度为150℃、加载电流为500mA的试验条件下,使用恒温箱同时对多种不同形状的样品进行加速寿命试验。结果表明:在此试验条件下,不同形状参数的互连线的失效模式相同,且皆为电迁移导致互连线 |
| 《湖北工业大学学报》 2015,30(02):28-30 |
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