| 超声波清洗在IC电镀设备中的应用研究 |
| 陈庆伟;李习周;聂燕;邵荣昌; |
| 关键词：超声波清洗;原理;电镀设备 |
| 主要内容：介绍了超声波清洗的原理,通过研究超声波清洗的特性和对产品表面的损伤,结合IC电镀中的实际问题,总结出超声波清洗的使用条件和实际使用中所具备的优势,为电镀设备的设计和实际使用提供参考。 |
| 《电子工业专用设备》 2015,44(08):30-32+41 |
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