| 纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术 |
| 张紫辰;尤政; |
| 关键词：硅基液晶器件;封装工艺;光学检测;液晶灌注;取向层处理 |
| 主要内容：本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检 |
| 《电子学报》 2015,43(11):2322-2330 |
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