| 磁力驱动串联式双腔微泵设计及性能测试 |
| 徐迎华;李杰超;闫卫平;李伟;肖良平; |
| 关键词：收缩/扩散管无阀微泵;磁力驱动;ANSYS仿真;性能测试分析 |
| 主要内容：针对无阀微泵背压能力较弱等问题,采用MEMS技术制作出不同结构参数的双腔和单腔微泵体,构建了基于电机驱动的磁力式双腔串联无阀微泵测控系统。实验结果表明,泵腔面积相等的情况下,圆形泵腔的微泵流量大于椭圆形泵腔的流量;随着驱动频率的升高,双腔串 |
| 《测控技术》 2015,34(08):1-4 |
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