| 大数据分析在半导体可靠性研究中的应用 |
| 周柯;尹彬锋;高金德;王继华; |
| 关键词：大数据;半导体可靠性;统计分析;工艺改善;设计优化 |
| 主要内容：常规复杂耗时的工艺可靠性评估已经成为开发先进工艺的瓶颈问题,为了满足技术开发对可靠性性能的更高要求,提出利用"大数据"的概念,以数据库为手段的一种有效的分析处理流程。通过这种分析方法,可以使滞后、浪费成本的"事后"评估变成有效的"事前"控制 |
| 《半导体技术》 2015,40(12):954-959 |
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