| 单片晶圆兆声清洗的仿真模型研究 |
| 朱亚安;段瑜;宋立媛;孙琪艳;殷艳娥;杨炜平;万锐敏;季华夏; |
| 关键词：单片晶圆;兆声清洗;仿真模型 |
| 主要内容：通过研究单片晶圆兆声清洗过程中兆声头在晶圆表面的运动轨迹和能量积累过程,构建了单晶圆清洗的兆声能量分布和颗粒去除过程的数学模型。通过Mathematica 9.0对模型进行了运算和简化,经过离散化处理后,运用MATLAB对几种硅片转速和兆声 |
| 《红外技术》 2015,37(01):48-53 |
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