| 电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析 |
| 曹井通;崔峰;陈伟;郭兆鑫;陈文元; |
| 关键词：MEMS;PCR芯片;PDMS;COMSOL;温度仿真 |
| 主要内容：基于MEMS加工技术,提出了一种加热、传感电极和反应腔室可分离的PCR芯片结构,加热、传感电极采用Pt薄膜材料并可重复使用,反应腔室采用PDMS材料,芯片的制造成本大为降低。利用COMSOL软件对设计的PCR芯片进行了温度场仿真分析,并用红 |
| 《半导体光电》 2015,36(05):725-727+732 |
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