| 杜洛埃有机介质上集成薄膜电阻工艺研究 |
| 秦跃利;高能武;谢飞; |
| 关键词：杜洛埃材料;薄膜;集成电阻 |
| 主要内容：杜洛埃有机介质广泛应用于高频微波集成电路,由于材料表面固有特性而增加了集成薄膜电阻的难度。通过改变杜洛埃介质表面的形貌获得良好的平滑表面,并采用薄膜电路制造工艺,实现了在无铜箔的杜洛埃介质上制作微波混合集成电路。已成功实现了功分器、微波天线 |
| 《电子工艺技术》 2015,36(02):94-96+101 |
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