| 多材料按需微滴喷射系统设计与实验研究 |
| 舒霞云;张鸿海; |
| 关键词：微滴喷射;按需喷射;气动膜片式;压电活塞式;机械阀式 |
| 主要内容：为满足微电子制造、封装领域中不同性质材料按需精确分配的需求,提出了一种由多微滴喷射单元构成的多材料按需微滴喷射系统。该系统的微滴产生模块由用于低黏度流体材料的气动膜片式微滴喷射单元、用于熔融金属流体的压电活塞式微滴喷射单元和用于高黏度流体的 |
| 《机械科学与技术》 2015,34(02):257-262 |
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