| 合金点导致的双极产品低良失效及改善方法研究 |
| 邱滟;陈倩;张爱军; |
| 关键词：双极型晶体管;隐埋层;失效分析;MCD;合金点 |
| 主要内容：双极产品具有较多的优点,在很多领域都有广泛的应用。为提高电流的性能,需要在集电极下制作隐埋层,由隐埋层工艺异常导致的双极产品失效问题时有发生。详细介绍了双极产品发生低良失效问题,经过失效分析发现失效由锑源MCD涂布过程中产生的合金点导致,从 |
| 《电子工艺技术》 2015,36(03):146-149 |
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