| 基于FPGA的RFID晶圆并行测试系统设计 |
| 张慧雷;景为平; |
| 关键词：并行测试;高频射频识别(RFID);晶圆测试(CP);射频耦合;现场可编程门阵列 |
| 主要内容：针对高频射频识别(RFID)晶圆在中测(CP)阶段单通道串行测试效率低下的问题,设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的多通道并行测试系统以提高测试效率。鉴于RFID晶圆上没有集成天线,提出了一种新的基于探针技术的射频耦合式的晶圆检测方 |
| 《半导体技术》 2015,40(11):866-871 |
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