| 基于惯性能时空最优分布的高加速轻载机构精密定位方法 |
| 陈新;白有盾;杨志军;高健;陈贡发; |
| 关键词：高加速轻载机构;精密定位;时空分布;惯性能;等效静态载荷方法;速度规划 |
| 主要内容：高速运动精密定位是微电子封装设备中高加速轻载执行机构的基本运动需求。本文推导了高加速机构瞬态非线性动力学响应方程,揭示了刚度、频率、阻尼(与材料空间布局相关)和驱动频率(与运动规划相关)是主要影响因素。据此,在满足高加速机构精密定位的条件下 |
| 《Engineering》 2015,1(03):232-247 |
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