| 基于预紧理论的大尺寸光刻机驱动精度控制 |
| 皮利华;芮延年; |
| 关键词：光刻机驱动精度;角接触球轴承;预紧理论 |
| 主要内容：以基于预紧理论的大尺寸光刻机驱动精度控制技术为研究课题,以Hertz接触理论为基础,提出通过对角接触球轴承施加预紧力的方法,来提高光刻机滚珠丝杠驱动精度。课题通过对角接触球轴承动力学分析,构建了角接触球轴承预紧计算方法,并进行了实例设计计算 |
| 《机械设计与研究》 2015,31(01):74-77 |
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