| 极紫外真空动态气体锁流场分析与研究 |
| 陈进新;王魁波;王宇; |
| 关键词：极紫外光刻机;动态气体锁;稀薄气体流场;抑制率 |
| 主要内容：满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件。本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基于一种给定的动态气体锁结构模型,进行不同清洁气体种 |
| 《真空科学与技术学报》 2015,35(08):940-946 |
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