| 集成电路互连引线的研究进展 |
| 姜国华;王楠;赵波; |
| 关键词：互连;铝(Al);铜(Cu);碳纳米管(CNT);集成电路(IC) |
| 主要内容：综述了集成电路互连引线的发展历史以及研究进展,从最初的铝互连引线到现在主流的铜互连引线,再到下一代碳纳米管互连引线。首先,介绍了铝作为互连引线材料的优点与其所存在的缺陷及改进方法,例如电迁移现象等问题的形成原因以及相应的克服方法。然后,探究 |
| 《微纳电子技术》 2015,52(08):477-484+536 |
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