| 交流信号对亚微米CMOS集成电路可靠性的影响 |
| 黄炜;付晓君;刘凡;刘伦才; |
| 关键词：可靠性;热载流子效应;电迁移;氧化层击穿;交流影响 |
| 主要内容：介绍了交流信号对亚微米CMOS集成电路可靠性的影响,重点分析了亚微米CMOS集成电路中交流应力下的热载流子效应、电迁移、栅氧化层介质击穿效应。通过与直流应力下器件可靠性的对比,分析交流信号与直流信号对亚微米CMOS集成电路可靠性影响的差异。 |
| 《微电子学》 2015,45(01):145-148 |
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