| 金属互连结构的电迁移仿真分析 |
| 邓登;崔海坡; |
| 关键词：电迁移;互连线;电热耦合;电流密度 |
| 主要内容：针对集成电路中金属互连线的电迁移现象,应用有限元分析软件ABAQUS,对铝硅合金互连线的电迁移过程进行了电热耦合研究,分析了不同电流密度与电势梯度、热通量、互连线内部总能量之间的相互关系,比较了不同结构尺寸对铝互连线电迁移失效的影响规律.结 |
| 《焊接学报》 2015,36(01):75-78+117 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号