| 面向大流量应用的硅微阀致动器优化设计 |
| 李勇俊;张胜昌;段飞;邓宁; |
| 关键词：硅微型阀;V型致动器;电热耦合 |
| 主要内容：设计了一种面向大流量应用的硅微阀流控芯片,基于电热耦合理论对芯片中的V型电热致动器进行了优化设计。通过构建温度分布的优化模型,对硅微阀流控芯片中V型致动器进行了变截面设计,并对优化前后的致动器进行了多物理场模拟。结果表明:与恒定截面V型致动 |
| 《传感器与微系统》 2015,34(09):80-82+86 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号