| 喷淋孔结构流体动力学特性研究 |
| 王春财;程嘉;路益嘉;季林红; |
| 关键词：真空腔室;喷淋板;直接模拟Monte Carlo;结构设计 |
| 主要内容：喷淋板通常用在化学气相沉积等真空腔室中,其流体动力学特性是决定真空腔室性能的关键因素之一。本文利用自主开发二维直接模拟Monte Carlo模拟程序对单个不同形状喷淋孔结构中性气体流场进行了数值仿真研究;讨论了七种不同单个喷淋孔结构的速度场 |
| 《真空科学与技术学报》 2015,35(12):1500-1506 |
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