产业集群决策
 
剖析光致成像工艺要点及改良
 
程静;吴培常;张卫;
关键词：光致抗蚀剂;曝光;显影;蚀刻
 
主要内容：文章讲述光致成像工艺要点,操作中应把握的参数以及操作中注意事项等,最后就生产出现品质问题及改进措施归纳了一下,以便更好地服务于生产。
 
《印制电路信息》  2015,23(04):5-10
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