| 七星电子12英寸立式氧化炉实现产业化 |
| 关键词：电子;中芯国际;轻子;氧化炉;集成电路生产线;产业化; |
| 主要内容：北京七星华创电子股份有限公司(简称"七星电子")与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸(1英寸=2.54 cm)立式氧化炉供销合同,用于其55 nm集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后,又一次在国内高端集成电 |
| 《半导体技术》 2015,40(05):347 |
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