| 设计最佳化解决金属导线变形和短路问题 |
| 许宗能;李健;李勇;张雷;王洁; |
| 关键词：金属变形;金属间隙;空洞;热应力 |
| 主要内容：基于铝亚微米金属化结构,研究了金属导线侧壁变形的成因和影响。发现氧化硅空洞和热应力是导致金属导线侧壁变形的重要因素,比较了不同间隙宽度对氧化硅填充能力和金属变形的影响,利用热处理温度增加和应力变化加剧金属变形来了解失效模式,分析了铝线尺寸设 |
| 《电子工艺技术》 2015,36(06):343-346 |
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