| 双极IC接触电阻改善研究 |
| 赵铝虎;阚志国; |
| 关键词：双极集成电路;欧姆接触;硅刻蚀;湿法腐蚀;工艺控制 |
| 主要内容：给出了一种解决双极集成电路在生产中欧姆接触偏大的问题,特别是双极集成电路P型接触偏大的问题解决方法。针对双极集成电路在批量生产过程中P型欧姆接触偏大的现象作了分析,并根据所积累的专业经验,在生产工艺过程中安排了过腐蚀、soft-etch,混 |
| 《微处理机》 2015,36(02):4-6 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号