| 微电子工艺可靠性的影响因素及提升措施研究 |
| 杨亚非; |
| 关键词：微电子;可靠性;影响因素;提升措施 |
| 主要内容：可靠性是关系产品质量的重要部分。在IC生产环节,微电子工艺的可靠性起着决定性的作用。本文在对微电子工艺可靠性进行简要阐述基础上,指出了研究微电子工艺可靠性必须注意的三个基本出发点,并从原材料控制、设备与工艺控制、环境洁净度控制等方面探讨了提 |
| 《电子测试》 2015,(20):70-71 |
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