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微互连技术的研究现状

肖金;程伟;周艳琼;

关键词：低温互连;键合技术;电子封装

主要内容：电子封装技术的发展决定了半导体技术的发展水平。微互连技术是电子封装技术的重要组成部分。论文阐述了近几十年来微互连技术的发展路径以及成就,着重研究了低温低压固态互连技术的发展现状。

《机电产品开发与创新》 2015,28(04):65-66+74

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