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微水刀激光划片机的切割原理
荣宇;
关键词：激光划片机;微水刀激光加工技术;微水刀激光划片机
主要内容：随着划片机市场的不断扩大和半导体行业的飞速发展,划片机的切割质量直接影响着产品的产量、成品率和效率,微水刀激光划片机逐渐占领半导体切割工艺的主要市场。本文将对微水刀激光划片机的切割原理和技术特点做初步探讨。
《科技展望》 2015,25(07):157
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
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