微系统技术创新发展策略研究
 
赖凡;王守祥;何晋沪;

关键词:微系统;异质集成;3D集成;标准开发联盟
 
主要内容:简略论述了国际上重要公司微系统重点发展技术和策略,以及成为热点的3D集成技术及其主要开发联盟。初步探讨了我国微系统技术和产业创新发展策略,明确提出了建立以标准开发为目的的联合开发平台建议、重点开发的关键技术和微系统光电技术路线图。
 
《微电子学》  2015,45(01):81-87
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