| 牺牲层二维腐蚀修正模型的研究 |
| 俞佳佳;方玉明;蒋文涛;吉新村; |
| 关键词：牺牲层腐蚀;二维腐蚀模型;扩散系数;计算机模拟 |
| 主要内容：针对氢氟酸腐蚀氧化硅,深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数,建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程,并使用C语言编程实现了对单开口、内外拐角等多种复杂组合 |
| 《传感技术学报》 2015,28(06):809-813 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号