| 现代纳米集成电路质子单粒子效应研究进展 |
| 何安林;郭刚;沈东军;刘建成;史淑廷;范辉;宋雷; |
| 关键词：质子;单粒子效应;核反应;直接电离 |
| 主要内容：近年来,随着半导体工艺技术的迅速发展,质子单粒子效应研究的重要性上升到了一个新的高度。综述了国际上纳米集成电路质子单粒子效应研究的主要进展,如低能质子成为纳米集成电路单粒子效应和软错误率的主要贡献因素,中高能质子与新型器件材料(如钨)核反应 |
| 《现代应用物理》 2015,6(02):118-124 |
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