| 一种含LDE效应的深亚微米电路设计流程 |
| 冯光涛;陈先敏;杨家奇; |
| 关键词：LDE效应;深亚微米;电路设计流程;模拟集成电路 |
| 主要内容：介绍了一种包含LDE效应的深亚微米电路设计流程。分析了100nm以下工艺节点LDE效应对器件的影响,以及传统集成电路设计方法的局限性。在此基础上,提出了包含LDE效应的电路设计方法,并通过中芯国际先进工艺节点的模拟电路设计实例进行了验证。结 |
| 《微电子学》 2015,45(05):670-672 |
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