| 一种新型MEMS VOA芯片的设计 |
| 侯继东;黄惠良; |
| 关键词：MEMS VOA;芯片设计;工艺流程;制造成本;新型结构 |
| 主要内容：本文首先简介了MEMS VOA芯片的研发历史,总结了现有各种此类芯片的特点和缺陷。然后介绍了一种新型的MEMS VOA芯片的设计思路和简要工艺流程,对新型芯片的测量表明衰减范围超过40d B,响应时间小于1ms。和现有主流芯片相比,新型芯片 |
| 《电子科学技术》 2015,02(05):514-518 |
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