| 一种新型PCB数字光刻投影成像技术 |
| 刘志涛;周金运;刘丽霞;郭华;邝健; |
| 关键词：光学设计;光刻;镜头设计;数字微反射镜;倾斜扫描;成像系统 |
| 主要内容：为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求,提出了一种新型PCB数字光刻投影成像技术。利用ZEMAX光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦,分辨率可达13.68 |
| 《激光与光电子学进展》 2015,52(04):167-172 |
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