| 一种新型铜槽模型对电镀均匀性提升的研究 |
| 凌家锋; |
| 关键词：电镀均匀性;电流传输;尖端效应;阳极挡板 |
| 主要内容：文章主要根据传统的电镀铜理论,建立了一个新型的镀铜槽模型,对阴极电流传输方式、阴极冷冻方式、夹具优化、阳极挡板调整、阴阳极之间的距离等方面进行优化,电流从整流机传输至飞巴顶部再均分至夹具的传输方式,电流分布尖端效应影响明显处进行挡板、打孔处 |
| 《印制电路信息》 2015,23(03):117-121 |
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