| 一种自封装技术制备PMMA微流控通道方法研究 |
| 朱郑乔若;王时飞;赵永恒;王旭迪; |
| 关键词：引导自封装技术;聚甲基丙烯酸甲酯;微流控通道;柔性模板 |
| 主要内容：本文结合湿法腐蚀技术、紫外固化纳米压印技术、热压纳米压印技术制备出聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)沟槽微结构,基于局部加热的自封装技术成功制备出了PMMA微流控通道。研究了硅模板结构参数的选择要求以及工艺过程中实验参数对实验的影响。实验结果表明 |
| 《真空》 2015,52(06):70-73 |
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