产业集群决策
 
影响激光调阻精度的若干因素浅析
 
寇玉娟;戴思;岳晴瑞;王丽莎;吴垠昊;
关键词：激光调阻;激光脉冲;激光切刻;切槽缺陷;调阻精度
 
主要内容：本文介绍了激光调阻的基本原理和激光调阻系统,激光调阻工艺流程及工艺参数,调阻程序,切刻类型,分析了切槽缺陷和影响激光调阻精度的若干因素。
 
《电子科学技术》  2015,02(05):525-531
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