| 在片S参数测量系统校准技术研究 |
| 吴爱华;孙静;刘晨;梁法国;郑延秋; |
| 关键词：在片测量;S参数测量系统;散射参数;校准;裸芯片 |
| 主要内容：在片S参数测量系统在半导体行业裸芯片测量中得到了广泛的应用,但是国内在片S参数测量系统无法有效溯源的现状影响了高端裸芯片产品的研发进度。为了建立该类系统的校准能力,本文研制了微带形式的在片校准件、在片传递标准件和在片检验件三类标准样片,搭建 |
| 《宇航计测技术》 2015,35(05):11-16 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号