| 主从结构超精密运动平台的宏微控制系统设计 |
| 范文超;李晓宇;陈兴林;魏凯; |
| 关键词：光刻机;宏微耦合;主从结构;线性状态观测器 |
| 主要内容：本文对超精密运动平台宏微控制系统进行了设计,并分析对比了两种主从结构的宏微策略,确定了宏动跟随微动的设计方案。针对光刻机宏微模型耦合部分引起的平台运动控制误差,本文引入了线性状态观测器对其进行补偿,并针对微动台音圈电机位置伺服系统设计了线性 |
| 《自动化技术与应用》 2015,34(06):9-15 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号