| “微电子器件”实验教学改革与探索 |
| 陈卉;文毅;张华斌;胡云峰; |
| 关键词：综合性实验;工艺流程;器件结构;软件仿真;有机器件 |
| 主要内容：微电子器件作为电子科学与技术专业的核心课程,是学生学习理解后续专业课程的基础。为了符合学院应用型人才培养模式的需求,笔者对传统实验教学进行了改革,引入TCAD仿真软件进行实验教学,学生能形象直观的了解器件的制作流程及器件制备过程中相关参数对 |
| 《高教学刊》 2016,(01):118+120 |
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