| 40μm_40μm精密线路制作工艺优化 |
| 朱梦;吴道新;肖忠良;张文静;吴蓉;周光华; |
| 关键词：蚀刻因子;铜厚;补偿值;线宽 |
| 主要内容：文章通过对不同设计方式的基板面铜铜厚范围、线路补偿、铜箔材料进行蚀刻因子的测试,并对蚀刻因子进行对比分析寻找其中的差异与规律,从而得到最适合高密集线路即40μm/40μm线路生产的控制参数。 |
| 《印制电路信息》 2016,24(06):18-21 |
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