| CMP设备中几种下压力施加结构简介 |
| 周国安;詹阳;李伟;胡兴臣;陈威; |
| 关键词：化学机械平坦化;下压力;旋转臂;桥;转塔;旋转木马;薄膜 |
| 主要内容：分析了旋转臂式结构的下压力特点,指出其采用最直接的杠杆原理,是第一代CMP机型IPEC372M的典型结构,适用于0.8μm的技术节点,并指出其局限性;后分析了桥式下压力结构,加了垂直于抛光台的主轴套及铰链结构,这种改善性的杠杆原理保证气缸施 |
| 《电子工业专用设备》 2016,45(06):45-48 |
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