| KLA-Tencor推出晶圆全面检测与检查系列产品应对10纳米良率挑战 |
| 关键词：良率;晶圆;KLA-Tencor;纳米; |
| 主要内容：KLA-Tencor公司日前在SEMICON West2016上为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统:3900系列(以前称为第5代)和2930系列宽波段等离子光学检测仪、Puma~(TM)9980激光扫描检测仪、CIRCL~ |
| 《电子工业专用设备》 2016,45(08):58-59 |
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