| LCP基RF MEMS开关的工艺研究 |
| 党元兰;赵飞;韩磊;徐亚新;梁广华;刘晓兰;陈雨;庄治学; |
| 关键词：LCP基材;柔性;桥式RF MEMS开关;薄膜微桥 |
| 主要内容：在柔性LCP基板上制备RF MEMS开关,加工难度较大,影响开关质量的因素较多。主要研究影响LCP基RF MEMS开关加工质量的主要因素,寻找工艺过程控制解决方案。通过对关键工序的试验,对加工过程中的基板清洗、LCP基板覆铜面镀涂及整平、L |
| 《电子与封装》 2016,16(05):43-47 |
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