| LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制 |
| 王运龙;刘建军;柳龙华;邱颖霞;王志勤; |
| 关键词：低温共烧陶瓷;腔体形变;金属掩模 |
| 主要内容：以含有腔体结构的LTCC叠层生瓷为研究对象,介绍了腔体在层压形变的评价和控制方法。分析了LTCC空腔在层压时产生变形的主要影响因素。阐述了在生瓷表面上增加金属掩模板来控制腔体形变的叠层结构设计。有限元分析结果表明不锈钢掩模可使腔体边缘应变降 |
| 《电子与封装》 2016,16(07):5-9+17 |
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